Система получения сверхчистой воды для микроэлектроники в Новосибирске (18,2 МОм)
Проект по разработке и внедрению установки получения сверхчистой воды для технологического процесса в микроэлектронике. Установка полностью разработана и установлена нашими специалистами.
Объект и назначение
- Город: Новосибирск
- Отрасль: микроэлектроника
- Назначение воды: технологический процесс нарезки кристаллов из керамической пластины
Параметры и качество воды
- Установка: TGP 125
- Производительность готовой воды: 0.125 м3/ч (125 л/ч)
- Качество: Марка А, 18,2 МОм
Основные этапы очистки
1) Предочистка на засыпных фильтрах (умягчение) — 1,25 м3/час
Подготовка воды перед глубокой очисткой: снижение жесткости и защита последующих ступеней от ускоренного износа.
2) Обессоливание методом обратного осмоса — 200 л/час
Мембранная очистка для удаления основной части растворенных солей и примесей, формирование низкоминерализованной воды.
3) Электродеионизация (EDI) с последующим хранением и раздачей — 125 л/час
Доведение параметров до уровня сверхчистой воды. Реализованы хранение и раздача потребителю с поддержанием стабильного качества.
4) УФ-стерилизатор фармацевтического стандарта на петле рециркуляции
Стабилизация микробиологических показателей и поддержание качества воды в накопительном контуре.
Результат проекта
- Обеспечено стабильное качество воды Марка А — 18,2 МОм.
- Поддержана непрерывная подача воды для технологического процесса микроэлектроники.
- Снижены риски брака, связанных с примесями в воде, за счет многоступенчатой схемы очистки.
- Система спроектирована, изготовлена и введена в эксплуатацию нашей инженерной командой.
Нужен расчет системы под ваши техусловия?
Заполните опросный лист на сайте или оставьте контакты. Подготовим технико-коммерческое предложение с учетом требований к качеству воды, производительности и инфраструктуры на объекте.



